真空探針熱臺可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場(chǎng)，低溫防輻射屏設計，樣品臺采用高純度無(wú)氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著(zhù)良好穩定性和重復性的PT100或者標定過(guò)的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動(dòng)，器件的高頻特性（支持頻率上達67GHz），探針熱沉設計，LD/LED/PD的光強/波長(cháng)測試，自動(dòng)流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。

　　真空探針熱臺關(guān)機操作：

　?。?）所有圓片測試完畢后，載片吸盤(pán)上沒(méi)有圓片且已回到右下角上料位置，此時(shí)可以關(guān)機。

　?。?）關(guān)閉顯微鏡照明燈開(kāi)關(guān)。

　?。?）關(guān)閉自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機電源。

　?。?）關(guān)閉自動(dòng)探針臺總電源（即電源插座開(kāi)關(guān)），確認散熱風(fēng)扇處于停止狀態(tài)。

　?。?）關(guān)閉真空閥（順時(shí)針為關(guān)）。

　?。?）關(guān)閉壓縮空氣閥（順時(shí)針為關(guān)）。

　　真空探針熱臺安全注意事項：

　?。?）在沒(méi)有真空或壓縮空氣（或壓力不足）的情況下嚴禁開(kāi)機測試。

　?。?）為了保護設備，開(kāi)機時(shí)必須先開(kāi)真空和壓縮空氣閥，再開(kāi)自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機電源；關(guān)機時(shí)必須先關(guān)自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機電源，再關(guān)真空和壓縮空氣閥。

　?。?）打開(kāi)自動(dòng)探針臺電源模塊上的主機電源之前，必須確認散熱風(fēng)扇處于轉動(dòng)狀態(tài)，不正常工作可能會(huì )燒壞主機電源。

　?。?）設備正常測試時(shí)嚴禁打開(kāi)設備上的參數設置面板和操作控制面板。