1100℃  1500℃ 高溫真空探針臺溫度穩定±1℃

  樣品臺26x26mm 同時(shí)可用于光學(xué)測試電學(xué)測試

光學(xué)反射透窗距樣品間距9mm

可擴展透視窗透孔2mm

電學(xué)測試4探針 外接3同軸bnc

腔體不銹鋼材質(zhì) 180x90x37mm上下面水冷

        該腔體設計有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調節移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號線(xiàn)連接測試儀器來(lái)測試電學(xué)信號。