問(wèn)：1.質(zhì)量流量控制器，為什么以SCCM和SLM為單位？

答：從測量原理講，熱式質(zhì)量流量計是通過(guò)利用氣體的比熱與密度，采用毛細管溫差量熱法進(jìn)行測量，流量控制器測量的就是質(zhì)量流量，但顯示出的數值是通用的標況（101325 Pa; 0℃）體積流量。由于一般氣體的密度都指標況下的密度，因此直接用體積乘以密度就可以得到所通過(guò)氣體的質(zhì)量。SCCM 與 SLM 為體積流量的行業(yè)標準單位，代表標況下的體積流量。SLM（Standard Liter per Minute）是表示每分鐘標準升。SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是表示每分鐘標準毫升。

問(wèn)：2.流量控制器對使用條件和環(huán)境有什么要求？

答：通常情況是環(huán)境溫度，流量規格，壓力根據產(chǎn)品的型號不同也有差異。

問(wèn)：3.內漏與外漏區別是什么？

答：內漏是指氣體整個(gè)氣路內部泄漏，主要是電磁調節閥關(guān)不死造成的；外漏是管路中氣體漏到氣路外部，主要是接頭密封不嚴造成的。

問(wèn):4.設定點(diǎn)精度與滿(mǎn)量程精度的區別是什么？

答:設定點(diǎn)精度是相對于設定點(diǎn)本點(diǎn)的精度，滿(mǎn)量程精度是相對于滿(mǎn)量程流量的精度。舉例：量程為 100SCCM 的流量控制器，當設定 50SCCM 時(shí)，其設定點(diǎn)精度為±0.5SCCM，即 50×（±1%）=±0.5SCCM；滿(mǎn)量程精度為 ±1SCCM，即100SCCM×（±1%）=±1SCCM。

問(wèn):5.什么是產(chǎn)品響應時(shí)間？

答:當流量設定點(diǎn)發(fā)生變化時(shí)，流量控制器的流量穩定達到流量設定點(diǎn)的一定范圍內的最短時(shí)間。響應時(shí)間又分為氣特性響應時(shí)間和電特性響應時(shí)間，氣特性響應時(shí)間是指實(shí)際流量達到設定值所需的時(shí)間，電特性響應時(shí)間是指流量控制器的輸出信號達到設定值所需時(shí)間，一般來(lái)說(shuō)氣特性響應要快于電特性響應。

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