微型真空探針臺是一個(gè)低成本不需要低溫制冷劑的探針臺，它可以對器件進(jìn)行非破壞性的測試，它可以對材料或器件的電學(xué)特性測量、光電特性測量、參數測量、high Z測量、DC測量、RF測量和微波特性測量提供一個(gè)測試平臺。

　　x-y向工作臺是微型真空探針臺中核心的部分，該產(chǎn)品的故障很多是維護保養不當或盲目調整造成的，所以對該產(chǎn)品的維護與保養就顯得尤為重要。

　　平面電機由定子和動(dòng)子組成，它和傳統的步進(jìn)電機相比其特殊性就是將定子展開(kāi)，定子是基礎平臺， 動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動(dòng)子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對摩擦故無(wú)磨損，使用壽命長(cháng)。

　　而定子在加工過(guò)程中生產(chǎn)廠(chǎng)家根據不同的設計要求如分辨力等，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線(xiàn)槽，線(xiàn)槽間的距離即稱(chēng)為平面電機的齒距，而定子則按不同的細分控制方式，按編制好的運行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現步進(jìn)運動(dòng)。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進(jìn)精度及設備使用壽命，損壞嚴重將造成設備無(wú)法使用而報廢。

　　由于平面電機的定子及動(dòng)子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長(cháng)時(shí)期保養不當將很容易使定子發(fā)生銹蝕現象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機的步進(jìn)精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個(gè)過(guò)程操作要十分地細心，不可使定子表面出現凹凸不平的現象。另外也可用沒(méi)有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。

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