分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備。此設備是根據真空知識原理，利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統，具有啟動(dòng)時(shí)間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設備的具體組成主要包括真空測量系統、真空室、閥門(mén)及真空管路、泵體加熱控制、電器控制系統、水冷卻保護控制等。
 

　　拆開(kāi)包裝箱，將設備從箱體中取出，檢查設備有無(wú)損壞，將設備的電源線(xiàn)接好，將地線(xiàn)與設備機殼連接。如果是三相供電方式，初次通電時(shí)需要觀(guān)察機械泵的相序，打開(kāi)總電源開(kāi)關(guān)，觀(guān)察分子泵機組電源的相序指示燈，如果相序指示燈亮表明機械泵相序正常；如果相序指示燈不亮表明機械泵相序不正常。關(guān)掉總電源，將三相電源線(xiàn)中的任意兩相對調，以確保機械泵相序正確。
 

　　安裝時(shí)應注意以下幾點(diǎn)：
 

　　1、設備安裝應平地上豎直方向上與垂直方向夾角小于5度。安裝后要固定腳輪。
 

　　2、真空系統各連接部位應密封可靠，保證無(wú)泄漏發(fā)生。
 

　　3、水路系統接頭處應無(wú)滴漏。
 

　　4、建議把從機械泵排出的氣體引出室外。
 

　　分子泵機組使用注意事項：
 

　　1、應經(jīng)常檢查各導線(xiàn)及接地線(xiàn)是否短路，其絕緣層是否破損漏電。
 

　　2、真空腔體內應保持清潔，經(jīng)常清除雜物。
 

　　3、裝入爐底料盤(pán)中的工件應符合要求，不能過(guò)高過(guò)大，以免爐絲受熱變形與工件接觸造成短路現象。
 

　　4、設備運行時(shí)要注意保養，定期對冷卻水系統進(jìn)行維護，以防止水垢的大量凝結，影響冷卻效果。
 

　　5、工作場(chǎng)地應保持衛生整潔，以免塵土污染真空室。