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小型離子濺射儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動(dòng)擋板功能。

產(chǎn)品型號：KT-1650PVD
更新時(shí)間：2024-03-27
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量：1106
品牌鄭科探應用領(lǐng)域電子


      鄭科探小型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動(dòng)擋板功能。

   小型離子濺射儀通過(guò)定時(shí)調節預濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。


控制方式


7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

≤1000W

最大輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

極限真空

機械泵 ≤5Pa（5分鐘）   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤10Pa

擋板類(lèi)型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62  （最大可安裝φ50基底）

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa）

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口




                                                                                                                                                                                                                          














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