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產(chǎn)品中心

Product Center

離子濺射儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀離子濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調節預熱功率及蒸發(fā)功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

產(chǎn)品型號：
更新時(shí)間：2024-03-27
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量：1396
品牌鄭科探價(jià)格區間面議
產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)應用領(lǐng)域電子

  KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀離子濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調節預熱功率及蒸發(fā)功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。離子濺射儀

參數

設備名稱(chēng)

小型濺射儀

小型蒸鍍儀

控制方式

7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

工作電源

直流濺射電源

直流熱蒸發(fā)電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

≤1500W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

電壓≤12V  電流≤100A

真空

機械泵 ≤5Pa（5分鐘）   分子泵≤5*10^-3Pa

腔體真空

≤30Pa

擋板類(lèi)型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

石英腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉φ62  （可安裝φ50基底）

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

40-105mm

70-140mm

蒸發(fā)坩堝容積


3ML

蒸發(fā)溫度調節


≤1600℃

真空測量

皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa）

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴展

1 膜厚在線(xiàn)測試    2 分子泵



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