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實(shí)驗室微型四探針真空探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

鄭科探微型真空探針臺廣泛應用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設備的具體組成主要包括真空測量系統、真空室、閥門(mén)及真空管路、電器控制系統等

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真空測試微型探針臺 該腔體設計有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調節移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號線(xiàn)連接測試儀器來(lái)測試電學(xué)信號。